1)物料準備
不銹鋼板原材料(根據自行設計決定厚度)、鍍層靶材(這里是指PVD工藝靶材)
2)PVD鍍層所需設備
傳送帶、板材清潔設備、真空鍍(PVD)設備、X光在線(xiàn)監測設備。
說(shuō)明:鍍層可選替代材料如氮化鈦、氮化鉻、非晶形碳等;工藝也可以用化學(xué)鍍(CVD)、滲氮處理、電鍍等方式替代。
3)PVD加工流程
a.先對原材料板材兩面進(jìn)行清潔并檢查品質(zhì)。
b.將清潔好的板材送入PVD設備爐腔內。(真空或者惰性氣體工作環(huán)境)
c.采用例如金、鈦、鋁等靶材,被爐腔內等離子體形成的離子轟擊。靶材的原子溶解,移動(dòng)到基底(此處為原材料)并擴散到其表面形成鍍層。
d.用X光用檢查鍍層的膜厚。
4)PVD過(guò)程參數控制:
a.溫度:450-500攝氏度。
b.真空壓力:1x10-1-1x10-7mBar。
c.鍍層厚度:0.1–6.3μm。
d.工作時(shí)間:約2-5分鐘。
5)影響品質(zhì)因素
PVD惰性工作環(huán)境、鍍層材料、基材形狀。
6)品質(zhì)特征
電導率以及耐蝕性。
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